MEMS 3

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种微型机电系统，它集成了微型传感器、微型执行器和信号处理电路等关键部件。这些部件通常由硅或其他半导体材料制成，通过微细加工工艺制造而成。MEMS技术具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高等优点，广泛应用于汽车、医疗、消费电子等领域。例如，MEMS加速度计可以用于智能手机的运动检测功能，MEMS压力传感器可以用于血压监测设备。随着科技的不断发展，MEMS技术在未来将会有更广泛的应用前景。