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MEMS中光技术

2017-02-12 23:26:19 2 举报
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光传感
激光操作激光光刻、扩散、蚀刻三维光刻光致执行器激光增益放大
近场光探头光学编码及位移传感光存储波导传感及光纤传感
MEMS
光信号控制波长滤波器调谐激光器光开关扫描及调制微光谱微透镜光学LIGA
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