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长沙三安光刻机RPA调研流程
2023-07-19 20:45:36
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长沙三安光刻机RPA调研流程
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识别operation框
进入选择Recipe界面Mes系统给出该产品对应的Recipe
选择Recipe跳转到上方标红处
键盘单击Enter键
识别对应Recipe并控制键盘上下键移动到该位置
键盘单机PF4进行翻页
识别1.Go选项
本页是否可识别到对应的Recipe
是
开始
识别1.SELECT process program
开始Run货
识别1.Command menu
键盘输入对应的光照盒数字
键盘单击PF2（退出菜单）
识别Change选项
OP手动放置Wafer
识别（3）EXECUTE process.并控制键盘上下键移动到该位置
否
键盘单击下键一次
识别（1）ENTER process program.
接收到MES中相关Recipe信息
键盘单击Space键一次切换选项
识别slot框
识别slot框中数字且键盘单击PF4键
键盘单击PF1键
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长沙三安光刻机RPA调研流程
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