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理工推力器供气气路图
2025-08-11 22:26:09
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二级减压阀
管路D6*1聚四氟乙烯管,两端端配聚四氟乙烯卡套6
阴极流量计1
管路D6*1不锈钢304钢管,两端端配卡套6
真空舱
气源
三通
绝缘器
V1
管路D6*1不锈钢304钢管,一端配1/4VCR母头,另一端配卡套6
减压阀阀体接口1/4NPT内螺纹,一般配1/4NPT外螺纹转1/4VCR公头
接口5/8或者W21.8
阴极流量计
压力传感器
单向电磁阀
HC-SM1阴极总成
气路图
配聚四氟乙烯卡套6-聚四氟乙烯卡套3
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