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2026-09-09 23:30:24
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异常程度是否严重
清理膜料微调电流重熔
是
清洁保养腔体复位
预熔状态是否正常
不良隔离复盘工艺
腔体保温冷却
否
轻微
离子源轰击清洗
运行膜系逐层蒸镀
高真空抽气并加热
关闭箱门启动粗抽
缓慢破空恢复常压
上片
设备状态是否正常
检查后重抽
结束
产品检验是否合格
真空度与温度是否达标
检修离子源/气路/灯丝
电子枪膜料预熔除气
设备全面检查
严重
基板清洗烘干
开始
稳压稳温仍异常报警
终止工艺
离子源工作是否正常
微调工艺参数
镀膜过程是否异常
开箱下片
完成全部膜系镀制
停机排查/报修
粗抽压力是否正常
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