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XC04自动流程

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XC04自动流程

2025-05-02 15:53:43   0  举报

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XC04半自动流程

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作者其他创作

大纲/内容

A1

(*020*)H5跳过上挂板

(*204*)-C2顶升旋转

C3

(*222*)-SV1 Open

(*221*)-载盘搬运H5-A1

(*215*)-载盘搬运H1-H2

(*217*)-载盘搬运H3-H4

(*105*)-C5破空

(*225*)-SV6 Close

(*102*)-C1抽真空

C4

(*223*)-SV1 Close

(*104*)-C5抽真空

(*103*)-C1破空

(*205*)-载盘搬运C2-C3

(*218*)-载盘搬运H4-H5

上挂板

(*206*)-C3顶升旋转

(*208*)-C4顶升旋转

B1

(*212*)-载盘搬运B1-H1

(*207*)-载盘搬运C3-C4

(*224*)-SV6 Open

(*209*)-载盘搬运C4-C5

(*306*)-AS自动加注

(*302*)-C2工艺启动

H3

(*101*)-一键抽真空

(*305*)-C5工艺启动

(*203*)-载盘搬运C1-C2

H1

(*303*)-C3工艺启动

H4

(*219*)-H5顶升旋转

(*201*)-载盘搬运A1-C1

Repeat

C1

C5

(*211*)-载盘搬运C5-B1

H5

关机

(*213*)-H1顶升旋转

(*214*)-H1下挂板

(*216*)-载盘搬运H2-H3

(*210*)-C5顶升旋转

(*304*)-C4工艺启动

(*307*)-清洁剂自动加注

跳过上挂板（按钮）

(*202*)-C1顶升旋转

启动

(*301*)-C1工艺启动

(*220*)-H5上挂板

H2

C2

(*107*)-一键破空

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