XC04自动流程
2025-05-02 15:53:43 0 举报XC04半自动流程
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大纲/内容
A1
(*020*)H5跳过上挂板
(*204*)-C2顶升旋转
C3
(*222*)-SV1 Open
(*221*)-载盘搬运H5-A1
(*215*)-载盘搬运H1-H2
(*217*)-载盘搬运H3-H4
(*105*)-C5破空
(*225*)-SV6 Close
(*102*)-C1抽真空
C4
(*223*)-SV1 Close
(*104*)-C5抽真空
(*103*)-C1破空
(*205*)-载盘搬运C2-C3
(*218*)-载盘搬运H4-H5
上挂板
(*206*)-C3顶升旋转
(*208*)-C4顶升旋转
B1
(*212*)-载盘搬运B1-H1
(*207*)-载盘搬运C3-C4
(*224*)-SV6 Open
(*209*)-载盘搬运C4-C5
(*306*)-AS自动加注
(*302*)-C2工艺启动
H3
(*101*)-一键抽真空
(*305*)-C5工艺启动
(*203*)-载盘搬运C1-C2
H1
(*303*)-C3工艺启动
H4
(*219*)-H5顶升旋转
(*201*)-载盘搬运A1-C1
Repeat
C1
C5
(*211*)-载盘搬运C5-B1
H5
关机
(*213*)-H1顶升旋转
(*214*)-H1下挂板
(*216*)-载盘搬运H2-H3
(*210*)-C5顶升旋转
(*304*)-C4工艺启动
(*307*)-清洁剂自动加注
跳过上挂板（按钮）
(*202*)-C1顶升旋转
启动
(*301*)-C1工艺启动
(*220*)-H5上挂板
H2
C2
(*107*)-一键破空
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