集成电子元器件原料与工艺
2025-05-14 18:18:38 0 举报AI智能生成
IC主要原材料与工艺分析
作者其他创作
大纲/内容
IC
原材料
晶圆（wafer)
硅组成晶圆
(绝大部分的IC是采用这种材料制成）
(绝大部分的IC是采用这种材料制成）
硅由石英沙精炼出来的
锗硅
（GHz的混合信号电路很多采用这种材料）
（GHz的混合信号电路很多采用这种材料）
砷化镓（GaAs）
最广泛采用的二代半导体（化合物半导体），主要用于射频领域，
包括射频控制器件和射频功率器件
最广泛采用的二代半导体（化合物半导体），主要用于射频领域，
包括射频控制器件和射频功率器件
SiC（碳化硅），InP（磷化铟）所谓的三代半导体
工艺
1.晶圆（wafer）（通常直径为 300mm）上涂一层光刻胶
2.然后光线经过一个已经刻有电路图案（pattern）
的掩膜版（maskorreticle）照射到晶圆上
的掩膜版（maskorreticle）照射到晶圆上
3.晶圆上的光刻胶部分感光（对应有图案的部分）
4.接着做后续的溶解光刻胶、蚀刻晶圆等处理。
5.然后再涂一层光刻胶，重复上述步骤几十次，以达到所需要求
光刻机
光刻机主要有两种，一种叫做 stepper，即掩膜版和晶圆上的某一个 die 运动到位后，
光源开、闭，完成一次光刻，然后晶圆运动使得下一个 die 到位，再进行一次光刻，依此类推
光源开、闭，完成一次光刻，然后晶圆运动使得下一个 die 到位，再进行一次光刻，依此类推
另一种光刻机叫做 scanner，即光线被限制在一条缝的区域内，光刻时，
掩膜版和晶圆同时运动，使光线以扫描的方式扫过一个 die 的区域，从而将电路图案刻在晶圆上
掩膜版和晶圆同时运动，使光线以扫描的方式扫过一个 die 的区域，从而将电路图案刻在晶圆上
封装
SOP 小外形封装
也可以叫做 SOL 和 DFP
（后面出 SOJ、SSOP、TSSOP、SOIC 等一些小外形封装）
（后面出 SOJ、SSOP、TSSOP、SOIC 等一些小外形封装）
PGA 插针网格阵列封装
BGA 球栅阵列封装
DIP 双列直插式封装
主要生产流程
设计阶段
绘制逻辑图。
布局电路元件。
使用EDA软件进行设计验证。
制作光掩膜。
布局电路元件。
使用EDA软件进行设计验证。
制作光掩膜。
制造阶段
晶圆加工：从硅或砷化镓制成晶圆。
氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积、互连等工艺。
测试晶圆的性能。
氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积、互连等工艺。
测试晶圆的性能。
封装阶段
选择合适的封装技术。
将芯片封装成最终产品，确保其功能和散热性能。
将芯片封装成最终产品，确保其功能和散热性能。
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