公司xw流程
2025-07-23 10:58:29 2 举报cvd
作者其他创作
大纲/内容
同步进行
莫来石维护、基片安放
支撑杆径向校正
准备下一炉生产
燃烧器准备工作
检验清炉结果
点火确认单填写（查漏补缺）
检验合格
根据工艺人员要求进行烘炉、起料头、稳态沉积
三人配合点火后进入烘炉
炉内清灰铲除大颗粒结料→扫把旋转画圆式清理喷灯孔/视窗清洁：酒精湿润纸擦拭，确保无粉尘残留。炉外壳用抹布擦拭除尘。
燃烧器安装
计算垫块高度（d=a-b-c）连接氢氧气管路
停止生产
清洁莫来石、基片表面，与莫来石回转中心同轴放置
设备参数调节
氧气纯化器：提前6h启动，循环水（0.3-0.5MPa）氧气压力（≥0.65MPa）尾气风机：提前4h启动，压力-500Pa氢气供应：点火前2天协调
生产阶段
相关设备启动
取坨
燃烧器拆卸
取坨称重记录相关测量数据
检验不合格
点火作业
制定生产计划
清炉
清洗、缠裹石英布
消火、氢氧阀门关闭、相关设备根据具体情况选择关闭
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