检测前级真空度
等待90秒后再试
否
等待 20分钟重试
再次读取真空度
读数 < 2×10⁻⁵ torr?
TurboReady2
给离子源上高压电
开启分子泵
监测分子泵转速与电流
是
第三次反馈正常?
开总电源
软件显示整机处于正确的闲置状态
再次检测前级真空度
开始
转速达满速capacity 100%0.8A<电流<1.2A温度<42度
打开curtain gas流量设为10L/min
显示真空规正常
停止开机流程报错灯亮
机械泵上电
等待90秒后重试
等待30秒
读取真空度
检测离子源是否安装高压电缆是否连接
用户可以开始设置参数开始测试
提示安装好离子源
持续监测真空度
读数 < 1×10⁻⁴ torr?
真空规反馈正常?
等待120分钟
去提示后等待1分钟
等待20分钟
真空度 ≤ 50 Pa
开启真空规
已安装且连接?
显示主机处于正确的闲置状态
再次反馈正常?
