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刻蚀
2017-03-28 15:33:45
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大纲/内容
仿真与设计
二步刻蚀方案
LPCVD沉积氮化硅
各向异性湿法刻蚀
获得样品
去除掩膜
一步刻蚀方案
套刻工艺转移图形
光刻转移图形
掩膜版设计与制作
热氧化二次成膜或LPCVD二次成膜
二次各向异性湿法刻蚀
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